精細切削加工主要是指零件尺寸在1mm以下，加工精度在0.01~0.001mm的精細尺寸零件的加工，微細切削加工是指尺寸在1μm以下的精細零件的加工，超細切削加工是指微細1nm以下的零件的加工。

1.影響超細切削加工的主要因素:

(1)對單位切削力的影響:實現超細加工的物理本質是切斷材料分子、原子之間的結合，實現原子或分子的去除，因此切削力必須超過晶體內部的分子、原子的結合力。背吃刀量和進料量極小時，單位切削面積上的切削力急劇增大，單位切削力非常大，同時產生大熱量，提高刀尖部分地區的溫度，直接影響切削加工的正常進行。

(2)材料微量加工特性的影響:材料去除過程不僅僅是切削工具，還嚴格控制在被加工材料本身。超細切削加工材料的選擇以納米級表面質量為前提，被稱為材料的微量加工性(可以用表面粗糙度和某個加工距離定義工具磨損的可忽視性)。.影響材料微量加工性的因素包括被切割材料對鉆石工具的內部吻合性(具有化學反應)、材料本身的晶體結構、缺陷、分布和熱處理狀態等(多晶體材料的各向異性對零件加工表面的完整性有很大影響)。

(3)刃口圓弧半徑對超微切削厚度的限制:刃口半徑限制其最小切削厚度，刃口半徑越小，允許的最小切削厚度也越小。官方hmin=(0.16~0.246)一般給予超細切削中刀刃半徑和可加工最小切削厚度的關系，目前常用的金剛石刀刃銳度約為0.2~0.5μm，最小切削厚度達到0.03~0.15m的特殊刀刃磨削工具達到=0.1m，最小切削厚度達到0.014~0.026m

(4)刀具磨損和破損:鉆石刀具有微磨損，切削一段時間后，刀具磨損逐漸加劇，有時突然惡化。鉆石工具的故障有崩潰刃和磨損兩種形式。鉆石刀具的機械磨損和微崩刀是由刀片處的微觀解理引起的，其磨損的本質是微觀解理的積累。累積的鉆石刀具磨損主要發生在刀具的前后刀面，經過幾十萬米的切削長度后，該磨損變為亞微米級磨損。由于氧化、石墨化、擴散和碳化的作用，鉆石工具也會產生熱化學磨損。崩刀是刀刃上的應力超過鉆石刀具局部受力時發生的，最難預測和控制的損傷，對加工表面質量的影響大于前后刀刃磨損的影響。降低切削溫度可有效減少刀具磨損。另外，在飽和碳氣體中切削也能抑制鉆石工具的碳化作用。

(5)切削過程中的微振動:工件表面的形狀由于工具的輪廓反映在工件上，加工表面的粗糙度由工具和工件之間相對運動的精度和工具的刀刃形狀決定。微切削時，背食刀的量比材料的晶粒直徑小，相當于切削不連續體。這種微觀斷斷續續的切削和機床的動作特性會導致切削過程中的微振動。微切削中的微振動對加工表面質量的影響也不容忽視。

(6)積屑瘤對加工過程的影響超:微切削時，積屑瘤的影響不容忽視。積屑瘤影響切削力和切削變形，冷焊在刀刃上的積屑瘤也影響加工表面的粗糙度。除了刀刃的微觀缺陷直接影響積屑瘤的發生外，切削速度和進給量對積屑瘤的影響也很明顯。微切時，所有切割速度范圍內都存在積屑瘤，但切割速度的大小影響積屑瘤的高度，切割速度越低，進給量越小，積屑瘤也越高。

二、解決辦法:

解決上述因素對超細切削加工的影響，加工時可采取以下解決辦法:

(1)正確選擇工具材料:超細加工部門的切削力非常大，產生大量熱量，刀尖區域溫度高的特征，加工時必須選擇符合要求的工具，選擇的工具材料具有耐磨性、耐熱性、高溫硬度、高溫強度好的特性，超細加工中最常用的是金剛石工具。

(2)合理選擇工件材料:為了提高超細加工表面的質量，必須合理選擇工件材料。選擇微量加工性好的工件材料(例如非晶體材料具有精細晶粒結構的材料)，可以獲得加工表面完整性好的工件表面。

(3)減小刃口圓弧半徑:用鉆石刀具超精密切削加工有色金屬和金屬材料，得到Ra=0.02~0.002μm的鏡面，細磨刀具后可切出厚度達到1nm的碎片。目前，鉆石刀具的刀刃質量主要是在旋轉的鑄鐵盤上精細研磨、研磨鉆石刀具的刀刃，采用離子束加工和化學研磨加工可以使加工刀具具有亞微米級的形狀精度。

(4)采用斜角切削斜角切削:實際切削前角，減小切削刃圓弧半徑和極限最小切削厚度，實現超薄切削和微細切削。微切削時，刃傾角的選擇應綜合考慮鉆石刀具晶面的選擇和刃磨。

(5)選擇合適的刀具前后刀面:天然鉆石具有硬度高、耐磨性強、高溫強度高、熱傳導性好、與有色金屬之間摩擦系數低、能磨出極銳利的刀具等一系列優良特性。因此，天然鉆石雖然價格昂貴，但仍然是不可替代的超細切削工具材料。